Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren

Autor: Bär, M. (Hrsg.)

Publikationsart: Buch

Verlag: Universitätsverlag Karlsruhe

Jahr: 2005, November

Beschreibung: 

Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs- Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorne in Richtung "Small Equipment for small Parts" darstellt. Im vorliegenden Bereicht wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben. Die MikroFEMOS-Technologie zeichnet sich durch ausgesprochene Serientauglichkeit aus. Es wurde eine Mikro-Heißprägemaschine und ein kartesisches Montagesystem mit vier Achsen, drei Linear- und einer Rotationsachse erarbeitet Bauteile werden auf DIN-Werkstückträgern in der Größe 2-Zoll zugeführt. Die Handhabung der Bauteile erfolgt mit Sauggreifern. Die einzelnen Komponenten werden mit Klebstoff gefügt. Im vorliegenden Artikel wird zusätzlich das auf passiver Justage basierende Montagekonzept beschrieben und die im ersten Schritt erreichten Montageergebnisse dargestellt. Die Arbeit stellt einen Beitrag zur Realisierung einer verketteten Mikrosystemfertigung bei geringstem Platzbedarf (Tischfabrik) dar.